JKL PVD bevonat alapfolyamata

(1) PVD előkezelés, beleértve a tárgyak tisztítását és az előkezelést.A speciális tisztítási módszerek közé tartozik a tisztítószeres tisztítás, a vegyi oldószeres tisztítás, az ultrahangos tisztítás és az ionos bombázásos tisztítás.
(2) Helyezze be őket a kemencébe, beleértve a vákuumkamra tisztítását és rögzítését, valamint az elemek és szerelvények felszerelését, üzembe helyezését és csatlakoztatását.
(3) A vákuumozás, általában 6,6 Pa vagy nagyobb nyomásra, korábban nyissa ki a diffúziós szivattyú elejét a vákuumszivattyú karbantartása és a diffúziós szivattyú felmelegítése érdekében.Miután elegendő az előmelegítés, a magas szelepet kinyitják és diffúziós szivattyúval 6 x 10-3 Pa félalsó vákuumba pumpálják.
(4) Sütés, a tételek sütése a kívánt hőmérsékletre.
(5) Ionbombázás, a vákuum általában 10 Pa és 10-1 Pa között van, az ionbombázási feszültség 200 V és 1 KV közötti negatív nagyfeszültség, a támadási idő pedig 15 perc és 30 perc között van.
(6) Előolvasztás, az áram beállítása az anyag előolvasztásához, az áram beállítása a bevonat előolvasztásához és a gáztalanítás 1-2 percig.Párolgásos lerakódás.A párolgási áramot szükség szerint állítjuk be, amíg a kívánt leválasztási idő le nem telik.Hűtés, a tárgyak a vákuumkamrában bizonyos hőmérsékletre hűlnek.
(7) A cikkek kivétele után a vákuumkamrát lezárják, a vákuumot l × l0-1Pa-ra evakuálják, és a diffúziós szivattyút lehűtik a megengedett hőmérsékletre, mielőtt a karbantartó szivattyút és a hűtővizet le lehetne kapcsolni.
 


Feladás időpontja: 2021.07.07